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八亿时空：已实现KrF光刻胶用PHS树脂50公斤级别的量产

来源：和讯周文凯编审：发布时间：2023-06-06 12:51:58

(资料图)

八亿时空：已实现KrF光刻胶用PHS树脂50公斤级别的量产：八亿时空近期在接受调研时表示，公司研发团队已成功实现KrF光刻胶用PHS树脂50公斤级别的量产，最近又取得了国内某核心光刻胶生产企业100kg级别窄分布(PDI

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